修理実績

修理実績 - 半導体製造装置 -

修理実績

各種装置の電源・モーター・基板・プロセスモジュールなど様々な 部品の修理を実施しております。
豊富な経験を基に、素早く故障状況を診断、修理し、早期復旧のお手伝いさせて頂きます。JMTの匠エンジニアならではの技術力で、 装置取付け後のサポートも実施しております。

詳しくは、こちら 修理部品一覧をご確認ください。

Centura DPS Metal

スロットルバルブ オーバーホール 0010-30135

アッセンブリオーバーホールにてメンテ時のダウンタイム短縮が可能となります。

スロットバルブ オーバーホール修理前写真1
スロットバルブ オーバーホール修理前写真2 スロットバルブ オーバーホール修理前写真2
スロットバルブ オーバーホール修理後写真3
スロットバルブ オーバーホール修理後写真4 スロットバルブ オーバーホール修理後写真4

オーバーホール前

オーバーホール後

※受入れ診断時、ベローズ単体のリークチェックを行い再利用可否を判断します。リークNGの場合、純正新品交換となります。
※分解、洗浄後にOリング、タイミングベルト、ガスケットを交換します 。
  お客様希望により、ベローズ、リードスクリューシャフト、ベアリング、フォトセンサー交換可能です。
※組立時に治具を使用してシャフト軸出し調整、グリスアップを実施します。
※手動にて開閉動作(スムーズ・引掛かりなし)及びセンサー開閉位置確認します。
※組付け後にアッセンブリでのリークテストを実施して出荷致します。

Centura HDP

Ceramic Dome 洗浄再生・粗さ測定  0200-01006

洗浄後にデポフレークの要因となるドーム表面粗さ測定を行います。
粗さ測定値が規格外の場合、ブラスト処理を実施します。

ドーム洗浄前写真1 ドーム洗浄前写真1
ドーム洗浄後写真2 ドーム洗浄後写真2

洗浄前

洗浄後

※粗さ測定 (エッジ部から1.5cm部を5箇所測定)

粗さ測定画像 粗さ測定画像
粗さ測定表 粗さ測定表

Centura HDP

HVA GV オーバーホール

ベローズ、 ベアリング、開閉センサーは いずれもお求めやすい価格の同等品を選定しました。 (長期使用実績あり)

詳しくは、こちらメーカー同等品一覧をご確認ください。

オーバーホール前写真1 オーバーホール前写真1
オーバーホール後写真2 オーバーホール前写真1

洗浄前

洗浄後

※出荷前にアッセンブリでのリークテストを実施します。
※アクチュエータ、SBリンケージ寸法測定・調整にて開閉動作・ロック時のスムーズな動き、異音ないことを確認して出荷します。

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お気軽にお問い合わせください。

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