修理実績
修理実績 - 半導体製造装置 -
修理実績
各種装置の電源・モーター・基板・プロセスモジュールなど様々な 部品の修理を実施しております。
豊富な経験を基に、素早く故障状況を診断、修理し、早期復旧のお手伝いさせて頂きます。JMTの匠エンジニアならではの技術力で、
装置取付け後のサポートも実施しております。
詳しくは、こちら 修理部品一覧をご確認ください。
Centura DPS Metal
スロットルバルブ オーバーホール 0010-30135
アッセンブリオーバーホールにてメンテ時のダウンタイム短縮が可能となります。
オーバーホール前
オーバーホール後
※受入れ診断時、ベローズ単体のリークチェックを行い再利用可否を判断します。リークNGの場合、純正新品交換となります。
※分解、洗浄後にOリング、タイミングベルト、ガスケットを交換します 。
お客様希望により、ベローズ、リードスクリューシャフト、ベアリング、フォトセンサー交換可能です。
※組立時に治具を使用してシャフト軸出し調整、グリスアップを実施します。
※手動にて開閉動作(スムーズ・引掛かりなし)及びセンサー開閉位置確認します。
※組付け後にアッセンブリでのリークテストを実施して出荷致します。
Centura HDP
Ceramic Dome 洗浄再生・粗さ測定 0200-01006
洗浄後にデポフレークの要因となるドーム表面粗さ測定を行います。
粗さ測定値が規格外の場合、ブラスト処理を実施します。
洗浄前
洗浄後
※粗さ測定 (エッジ部から1.5cm部を5箇所測定)
Centura HDP
HVA GV オーバーホール
ベローズ、 ベアリング、開閉センサーは いずれもお求めやすい価格の同等品を選定しました。 (長期使用実績あり)
詳しくは、こちらメーカー同等品一覧をご確認ください。
洗浄前
洗浄後
※出荷前にアッセンブリでのリークテストを実施します。
※アクチュエータ、SBリンケージ寸法測定・調整にて開閉動作・ロック時のスムーズな動き、異音ないことを確認して出荷します。