JMTオリジナル品
JMTオリジナル品ご紹介
JMTオリジナル品
現場でのお客様の声や、弊社エンジニアの知見をもとにより使いやすいもの、
役立つものをコンセプトに、純正品にかわるJMTオリジナル品を厳選・制作して販売しております。
ここでは、JMTオリジナル品の一部をご紹介しております。
グランドシールドコイル（型式：H-COL-001）
PRODUCT：HDP・CVD
JMTの水漏れ改善
ロウ付けからクランプ固定式に変更
クーリングコイルのRに合わせ溝を調整
純正品のトラブル事例
故障の大半がクーリングコイルと取付け金具のロウ付け部付近からの水漏れです。
取付け金具（真鍮）とクーリングコイル（銅）の熱膨張率が異なり、
ロウ付け部にその歪みが直接加わるためだと推察されます。
取付け金具（真鍮）とクーリングコイル（銅）の熱膨張率が異なり、
ロウ付け部にその歪みが直接加わるためだと推察されます。
ロウ付け
漏れ箇所
水漏れ改善を行っている
JMTオリジナル品のグランドシールコイルをお勧めします！
JMTオリジナル品のグランドシールコイルをお勧めします！
水漏れ改善を行っているJMTオリジナル品のグランドシールコイルをお勧めします！
BLANK OFF PANEL製作
PRODUCT：CENTURA・ENDURA・P5000・PRODUCER・HDP
本製品のメリット
- １．BUFFER CHAMBER内の目視確認ができる
- 搬送エラー発生時にWAFERの状態が確認できます。
- ２．CHAMBERリーク箇所の切り分けが容易にできる
- CATHODE ASSY、THROTTLE VALVE ASSYにリークがあるか確認できます。
プロダクト（工程別）製品ページ
| CENTURA・ENDURA・P5000 | 型式：O-BLK-001 |
| PRODUCER | 型式：P-BLK-001 |
| HDP THROTTLE VALVE | 型式：H-BLK-001 |
| HDP CATHODE CHAMBER | 型式：H-BLK-002 |
冷却水マニフォールドキット（型式：MANIFOLD）
PRODUCT：IMPLA
水漏れしやすいクイック継手からSWG継手に変更しました！
冷却水ラインの水漏れ防止対策にお勧めです！
水漏れしやすいクイック継手からSWG継手に変更しました！冷却水ラインの水漏れ防止対策にお勧めです！
純正品とJMTオリジナル品の比較写真
純正品よりもJMTオリジナル品はマニフォールドの肉厚を厚くする事で割れにくくなっており、水漏れが改善します。
（左：純正品、右：JMTオリジナル品）
コンパクトフラッシュユニット（型式：CF-001）
PRODUCT：CENTURA・ENDURA・P5000
驚異のアクセススピードを実現！SCSIタイプFDD完全互換ユニット
※ 3.5インチフロッピーディスク、及びSCSI通信規格のFDDは既に生産中止・入手困難
- １．簡単取付
- 装置改造やソフトのインストールは不要
- ２．FDDと同じ操作方法
- FDDと同様の方法でオペレーション可能
- ３．データの高速アクセス
- 桁違いにアクセススピードが早いためデータバックアップ作業が大幅に短縮
AMAT社製装置変換モデル
作業時間の大幅短縮が可能です。６０分かかっていた装置ファイルバックアップが 2～3分に短縮 !!
（RECIPE/SEQUENCE/WAFER HISTORY/EVENT LOG/ ETC.）
（RECIPE/SEQUENCE/WAFER HISTORY/EVENT LOG/ ETC.）
HDDミラーリングシステム（型式：DUAL HDD）
PRODUCT：CENTURA・ENDURA・P-5000・PRODUCER・HDP
HDDクラッシュによる装置停止を回避するユニット
※純正HDDは生産中止・入手不可 !!
高額で希少なHDD
従来システムの場合、HDDがクラッシュすると
当然ながら装置は停止
当然ながら装置は停止
従来システムの場合、HDDがクラッシュすると
当然ながら装置は停止
当然ながら装置は停止
市場流通がある安価なHDD（2個）
RAIDシステムの場合、2個のHDDで稼働しているため、
片方のHDDがクラッシュしても
装置は停止しません。装置の電源を落とさず故障したHDDの交換ができます。
RAIDシステムの場合、2枚のHDDで稼働しているため、
片方のHDDがクラッシュしても
装置は停止しません。装置の電源を落とさず故障したHDDの交換ができます。
DUAL HDDが搭載可能な各種装置
- １．CVD
- ２．ENDURA
- ３．ETCH
- ４．RTP・EPI
- ５．CMP
- ６．P5000
- ７．PRODUCER
- ８．各種測定装置
※SCSIもしくはIDE規格のHDDを使用している装置
CENTURA VME写真（DUAL HDD搭載時）
製品の３つのポイント
- １．装置を停止させない
- 装置稼働（アイドル）状態でHDD交換が可能
- 片方のHDDがクラッシュしても装置が停止しない
- ２．高い互換性
- ワールドワイドで6,000台以上の納入実績
- ３．保守交換費用が安価
- 市場流通品のHDDを使用（2.5” SATA）
先端交換型クリップス（型式：CLIP-5・6 他）
PRODUCT：IMPLA
※5,6インチ、8インチ、12インチそれぞれのWAFERサイズに対応しております。
本製品のメリット
- １．先端部（消耗部品）のみ交換することができる
- 長期使用によるWAFER接触部の摩耗や汚れによる異物数増加防ぐことができます。
- ２．費用を抑えることができる
- 消耗品部分は、ピンかバネであり、価格の高いASSYそのまま交換してしまうより、劣化した箇所だけ本部品に変更することで費用も抑えることができます。
ドライバー型トルクレンチにて手軽に締め付けトルク管理できます。
純正品と同形状なのでASSYでの置き換えも簡単に出来ます。
初回はASSYにて購入可能です。
純正品と同形状なのでASSYでの置き換えも簡単に出来ます。
初回はASSYにて購入可能です。
純正品
純正品は、割ピンを抜き
ピンを交換しなければなりません。
またピン単体の部品は販売しておりません。
ピンを交換しなければなりません。
またピン単体の部品は販売しておりません。
JMTの「先端交換型クリップス」にお任せください！
JMTの「先端交換型クリップス」にお任せください！
LMガイド一式(型式：SLI-002)
PRODUCT：IMPLA
スライドレールからLMガイドに置き換えて長寿命化
スライドレール
※スライドレールは、レールの剛性が乏しく、
耐久性がありません。ベアリングの不良によるがたつきで、注入停止などの問題を引き起こします。
耐久性がありません。ベアリングの不良によるがたつきで、注入停止などの問題を引き起こします。
※スライドレールは、レールの剛性が乏しく、
耐久性がありません。ベアリングの不良によるがたつきで、注入停止などの問題を引き起こします。
耐久性がありません。ベアリングの不良によるがたつきで、注入停止などの問題を引き起こします。
JMTの「LMガイド」に置き換えて延命をお勧めします！
JMTの「LMガイド」に置き換えて延命をお勧めします！
LMガイド
LMガイドキット
※レールにLMガイド（リニアモーション）を使用することにより、接触面積を増やすことによる駆動安定性と高い剛性により長寿命化を図ります。
SCANセンサー部は、SCANのスピードを制御し、注入量を調整する非常に重要な部分になりますので問題が発生する前にLMガイド化への改善をオススメします。
※レールにLMガイド（リニアモーション）を使用することにより、接触面積を増やすことによる駆動安定性と高い剛性により長寿命化を図ります。
SCANセンサー部は、SCANのスピードを制御し、注入量を調整する非常に重要な部分になりますので問題が発生する前にLMガイド化への改善をオススメします。
