PIVOT KIT FOR HP/HP+ROBOT

ブレード前垂れ防止・対策品！
PIVOT固定ネジの締付け不良によるブレード前垂れ、ウェハー表面にスクラッチが入る不具合を抑制できます。
ネジ締付けに関しては熟練の経験が必要でしたが、作業者スキルに依存することなく誰がつけても同じトルクにて締付けが可能となります。
Wave SpringをCapで押さえる特殊な構造に変更することでトルク管理が不要となりました。