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BLANK OFF PANEL FOR HDP CATHODE
Blank Off Panel (HDP Cathode)ｔ=15mm
チャンバーリークトラブル時にカソードアッセンブリ起因のリーク切り分けが容易に可能となります。
装置ダウンタイム短縮が可能となります。
装置ダウンタイム短縮が可能となります。
| 注意事項 | 仕入れ状況により納期が変動する場合がございます。 |
|---|---|
| 商品コード | J2POIMP003 |
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