部品修理
各種装置メーカー純正部品と同等品を厳選し、純正部品よりもお求めやすい価格で提供しております。200mm以下製造装置のダウンタイム改善や延命化に対応した部品の販売も行っております。
掲載していない部品に関しても、ご入用の部品がございましたら速やかに調査して、お求めやすい価格でご案内いたします。
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TUNER 1/4 GUIDE
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RF SOURCE MATCH
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RF BIAS MATCH DPS
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INJECTION VALVE
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LIQUID MASS FLOW
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SEKIDENKO BOX
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DXZ HEATER LIFT O/H
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RF MATCH CVD
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TXZ HEATER LIFT SURFACE FLATTENING
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THROTTLE VALVE
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ROUGH THROTTLE VALVE
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DEVICE NET PCB
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APC I/O DISTRIBUTION BOARD
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SERIPLEX BOARD
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TC FILTER BOARD
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INTERLOCK BOARD
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MGE UPS
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RPS GENERATOR
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HVA TURBO GATE VALVE
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TURBO PUMP
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TURBO PUMP CONTROLLER
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HEAT EXCHANGER AMAT-1
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DI TANK REGENERATION
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HDP ESC POWER SUPPLY
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SLIT VALVE ASSY
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TURBO THROTTLE VALVE HDP
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GROUND SHIELD COIL HDP
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CATHODE BASE HE LINE WELDING
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THERMALOGIC BOARD
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I/O EXPANSION BOARD
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BOARD FOR ETO GEN RACK
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SSD BOARD FOR ETO GEN RACK
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S/C BOARD FOR ETO GEN RACK
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SSD BOARD FOR ETO GEN RACK
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SSD BOARD FOR ETO GEN RACK
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DEVICE NET PCB
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YASKAWA DRIVER SERVO PACK
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MEGATORQUE MOTOR
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P5000 ROBOT ASSY
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MEI BOARD
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PRODUCER POBOT ASSY
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DC POWER SUPPLY
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POWER SUPPLY
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MICROWAVE CONTROLLER
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HDP EXTENDED MOTOR UPPER/LOWER
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SERIPLEX MUX I/O BOARD
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SSD BOARD FOR ETO GEN RACK
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DC POWER SUPPLY
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HEATER ASSY 8” BIASABLE 101 8''
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RF MATCH
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