BLANK OFF PANEL FOR CAHMBER LIＤ

リークトラブル時の切り分けが容易になります。装置ダウンタイム短縮！
カソードアッセンブリ分解、組立作業時やチャンバーリークトラブル時の際にカソードアッセンブリでのリークチェックが容易に出来ます。これによりダウンタイムの短縮が可能となります。